Исследование процесса напыления металлического контакта

Значения конкретных параметров изменяется на малых партиях приборов в розиири одной загрузки. Толщина напыленного слоя определяется методом зы-вания на прецизионных весах (вла-200) с точностью взвешивания 0,1 мг.
Величина напряжения замерялась на каждом из элементов после впалювання алю-мини по стандартной методике. Температура нагрева подложки определялась не-мым замером при помощи термопары ТХК. Соответствие показаний термопары исты-нным значением температуры на под ложке достигалось изменением положения термопары-ры в пространстве с проверкой по контрольным точкам. Контрольными точками были точки 1830 (температура плавления припоя пос-61) и 2310 (температура плавленые-ния олова). Образцы розплавляемих металлов имели вид правильного треугольника со стороной 8 - 10 мм. и толщиной 100 мкм. (0,1 мм). Точность соответствия определяли по подплавления их углов.
Приведены в таблице 6 результаты показывают, что наиболее технологичным и воспроизводимым есть вариант технологии напыления, при котором напыления проводится одновременно на 18 полупроводниковых элементов, загруженных в держатель купольно-го типа. Напыление происходит в два этапа работы електронопроминевои пушки продолжительностью 8 и 6 минут. Таким образом, сохраняется время безопасной работы пушки (8 минут) без перегрева, и общее время напыления достаточно для напыления мета-лизации алюминия толщиной 20 мкм. Высота купола над тиглем електронопромине-ной пушки 300 ± 5 мм в средней части. Несмотря на то, что при снижении вы-соты купола над тиглем до 260 мм, скорость осаждения алюминия увеличивается,
также увеличивается величина разброс между крайними и центральными элементами. Такой вариант доступен только в том случае, когда напиляемих элементов не пре-превышающей шести, и они расположении по центру.
Оптимальная температура нагрева перед напылением составляет 2500 С. При большой температуре резко падает вакуум, а при меньшей температуре - увеличивается значение прямого падения напряжения.
После напыления структуры вынимались из гнезд купола и провирялись на зов-внешние вид. Напыленным слой алюминия должен быть равен, белого цвета.
Исследовано влияние технологических факторов на процесс напыления алюминием на элементы полупроводниковые. С применением полученных результатов изго-готавливаемая партия элементов без технологических браков. Во время напыления не каких сбоев в работе вакуумной установки не было. Изготовлены приборы показали высо-кий выход годного.
После всех необходимых действия и проверок партия элементов полупроводниковых отправлена ​​на впалювання.

---

Другие статьи по теме:

- Строение кузовов и кабин автомобиля
- Производство химических волокон
- Принципы и методы измерения
- Эволюция представлений человечества о строении Вселенной
- Особенности охраны труда для тракториста

Это интересно:

Новости космоса: