Оборудование участка напыления

Высоковакуумные установка напыления типа В90.1 является современной и уни-нозастосованим оборудованием для самых разных задач вакуумной техники напи-ления. С помощью этой установки возможно проведение качественного напыления нескольких элементов полупроводниковых одновременно. Эта универсальность оборудо-вания достигается простотой основной конструкции, которую можно укомплектовывать на выбор богатым ассортиментом вспомогательных устройств.
Установка состоит из:
1) Вакуумной камеры. Она расположена вертикально и имеет диаметр на свете, равный 900мм. Передняя четверть камеры представляет собой дверцу, которая изготовлена ​​из нержавеющей специальной стали. На внешней стороне камеры расположена система медных труб для обогрева и охлаждения по средствам воды. Два смонтированных окна с Ду 150 обеспечивают в соединении с освещением камеры хороший обзор вакуумной ка-мэры в любое время. Для устройства вспомогательных устройств и стандартных вводов есть 18 фланцевых отверстий и 4 фланцевых штуцера.
2) Несущей рамы. Она представляет собой стойку для вакуумной камеры. На несущей раме находится подвод тока для испарения на опорах. На этой раме также находятся 4 розетки на 220 В ~, и одна на 24 В ~. Эти розетки нужны для подключения дополнительных управляющих и измеряя приборов.
3) насосного агрегата.
Он оснащен такими насосами:
- Пластический насос: S = 150 м3 ч-1;
- Насос Рута: S = 1800 м3 ч-1;
- Насос маслодифузийний: S = 8000 л сек.-1.

Все вентили обслуживаются при помощи манометров или магнитов. К насос-ном агрегата можно подключить второй маслодифузийний насос такой же продук-тивности и низкотемпературную ловушку для жидкого азота.
Процесс откачки выполняется от распределительного шкафа. Управление ими про-исходит в зависимости от давления и является полностью автоматическим.
4) Випарювача.У вакуумную камеру можно устроить несколько испарителя, и эксплуатировать их как один за одним, так и одновременно. Два типа испарителя с различным принципом действия стоят к услуг, испарителя с нагревом за счет сопротивлений в форме однократного и многократных испарителя, а также електронопроминеви выпаривая оборудования различной мощности.
5) Распределительная шкаф. Она оснащена сменными блоками, в которых расположены все управляя и измерительные элементы, а также элементы обслуживания, которые необходимы для эксплуатации установки. Встроенный вытяжной вентилятор служит для отвода тепла.
Управление оборудованием может осуществляться на выбор, вручную или авто-тически в зависимости от давления.
Зависимости от давления, автоматическое управление включает в себя следующие программы:
Пуск 1. программа запуска оборудования;
Пуск 2. видкачення к установлению готовности к напыления;
Пуск 3. программа отключения установки.

---

Другие статьи по теме:

- Методика преподавания электротехнических работ
- Окраски поверхностей дисперсионно-полимерными составами
- Общие сведения о штукатурные растворы
- Техника, технология и продукция химической промышленности
- Железнодорожный транспорт

Это интересно:

Новости космоса: